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EV Group、量産向け次世代レジストプロセス装置「EVG120」を発表

超小型・新プラットフォームでよりコンパクトで柔軟な構成に、in-situレジスト厚さ計測とウェーハエッジ露光機能を搭載。上位機種EVG150の高性能を実現

2026.2.19  7:02 pm

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